Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Показано, что применение разработанных ...
Предложены различные методы защиты поверхности кремниевых подложек для изготовления кремниевых транзисторов. Приведены результаты проведения термических операций с техно-логическими режимами получения ...
