EXPERIMENTAL DETERMINATION OF THE SPECIFIC ENERGY OF DESTRUCTION OF SILICON CARBIDE-BASED CERAMICS UNDER THE INFLUENCE OF MILLISECOND LASER RADIATION

Alexander G. Gorevoy – head of Research Laboratory, All-Russian Research Institute of Automation named after N. L. Dukhov, Moscow, Russia
Alexander F. Kovalenko – Doctor of Technical Sciences, Associate Professor, head of Research Department, All-Russian Research Institute of Automation named after N. L. Dukhov, Moscow, Russia; Professor, National Research Nuclear University “MEPhI” (Moscow Engineering Physics Institute), Moscow, Russia
Iliay A. Mitrochkov – research associate, All-Russian Research Institute of Automation named after N. L. Dukhov, Moscow, Russia
Sergey A. Fedotov – Candidate of Chemical Sciences, deputy head of the Research Department, All-Russian Research Institute of Automation named after N. L. Dukhov, Moscow, Russia
Jonas J. Astrauskas – Candidate of Technical Sciences, academy teacher, Peter the Great Strategic Missile Forces Military Academy, Moscow region, Balashikha, Russia

1. Филонов К. Н., Курлов В. Н., Классен Н. В. и др. Новая профилированная керамика на основе карбида кремния // Известия РАН. Серия физическая. 2009. Т. 73, № 10. С. 1460 – 1462.
2. Жарков В. А., Пашков О. Д., Овечкина В. А. и др. Способы получения плотных материалов на основе SiC (обзор) // Успехи в химии и химической технологии. 2023. Т. 37, № 5. С. 34–35.
3. Жарков В. А., Пашков О. Д., Овечкина В. А. и др. Активированное спекание материалов на основе SiC (обзор) // Успехи в химии и химической технологии. 2023. Т. 37, № 5. С. 36 – 38.
4. Житнюк С. В. Влияние спекающих добавок на свойства керамики на основе карбида кремния (обзор) // Труды ВИАМ. 2019. № 3(75). С. 79 – 86. DOI: 10.18577/2307-6046-2019-0-3-79-86
5. Агуреев Л. Е., Савушкина С. В., Иванова С. Д. и др. Разработка керамических материалов на основе карбида кремния с добавкой карбида бора // Стекло и керамика. 2025. Т. 98, № 6. С. 41 – 50. DOI: 10.14489/glc.2025.06.pp041-05
6. Сорокин О. Ю., Беляченков И. О., Осин И. В., Головков А. Н. Неразрушающий контроль изделий из армированного реакционно-спеченного карбида кремния на различных стадиях механической обработки // Труды ВИАМ. 2024. № 2(132). С. 67 – 75. DOI: 10.18577/2307-6046-2024-0-2-67-75
7. Сорокин О. Ю., Беляченков И. О., Чайникова А. С. и др. Структура и фазовый состав реакционно-спеченного карбида кремния, содержащего искусственный графит // Вопросы материаловедения. 2022. № 3(111). С. 49 – 58.
8. Беляков А. Н., Марков М. А., Кравченко И. Н. и др. Разработка высокоплотных керамических материалов из карбида кремния реакционным спеканием // Проблемы машиностроения и автоматизации. 2023. № 4. С. 32 – 40. DOI: 10.522661/02346206-2023-4-32
9. Качаев А. А., Ваганова М. Л., Лебедева Ю. Е., Турченко М. В. Применение аддитивных технологий для изготовления керамических материалов на основе карбида кремния // Стекло и керамика. 2022. Т. 95, № 11. С. 37 – 42. DOI: 10.14489/glc.2022.11.pp.037-042 [Kachaev A. A., Vaganova M. L., Lebedeva Yu. E., Turchenko M. V. Use of Additive Technologies for Making Silicon Carbide ceramic materials: A Review // Glass Ceram. 2023. V. 79, No 11–12. P. 462 – 465. DOI: 10.1007/s10717-023-00533-5]
10. Dadkhah M., Tulliani J.-M., Saboori A., Iuliano L. Additive manufacturing of ceramics: Advances, challenges, and outlook // Journal of the European Ceramic Society. 2023. V. 43. P. 6635 – 6664. DOI: 10.1016/j.jeurctramsoc.2023.07.033
11. Camargo I. L. De, Fortulan C. A., Colorado H. A. A review on ceramic additive manufacturing technologies and availabity of equipment and materials // Ceramica. 2022. V. 68. P. 329 – 347. DOI: 10.1590/0366-69132022683873331
12. He R., Zhon N., Zhang X., et al. Progress and challenges towards additive manufacturing of SiC ceramic // Journal of Advanced Ceramics. 2021. V. 10, No. 4. P. 637 – 674.
13. Коваленко А. Ф. Импульсное лазерное пробитие отверстий в керамических деталях // Стекло и керамика. 2021. Т. 94, № 6. С. 43 – 47. [Kovalenko A. F. Pulsed laser hole punching in ceramic parts // Glass Ceram. 2021. V. 78, No. 5–6. P. 247 – 250. DOI: 10.1007/s10717-02100388-8]
14. Коваленко А. Ф. Импульсное лазерное пробитие сквозных отверстий в оптически толстых стеклянных и керамических пластинах // Стекло и керамика. 2020. Т. 93, № 9. С. 7 – 10. [Kovalenko A. F. Pulsed laser punching of through holes in optically thick glass and ceramic plates // Glass Ceram. 2021. V. 77, No. 9–10. P. 332 – 335.]
15. Коваленко А. Ф. Исследование возможности уменьшения энергетических затрат при лазерном скрайбировании стеклянных и керамических пластин // Стекло и керамика. 2022. Т 95, № 6. С. 23 – 29. DOI: 10.14489/glc.2022.06.pp.023-028. [Kovalenko A. F. Possibility of lowering the energy cost of laser scribing of glass and ceramic tiles // Glass Ceram. 2022. V. 79, No. 5–6. P. 218 – 221. DOI: 10.1007/s10717-022-00487-0]
16. Журба В. М., Иванов В. Н., Кобилов И. М., Митькин В. М. Удельная энергия разрушения ряда строительных материалов // Оптический журнал. 2007. Т. 74, № 8. С. 61 – 65.
17. Батанов В. А., Буфетов И. А., Лукишова С. Г., Федотов В. Б. Развитое испарение германия и кремния лазерным излучением миллисекундной длительности // Квантовая электроника. 1974. № 2. С. 436 – 439.
18. Вейко В. П. Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике. Санкт-Петербург: Изд-во ИТМО, 2011. 141 с.
19. Афанасьев Ю. В., Крохин О. Н. Газодинамическая теория воздействия излучения лазера на конденсированные вещества. В кн: Труды ФИАН – Квантовая радиофизика. М.: Наука, 1970. Т. 52. С. 118 – 170.
20. Кобылкин И. Ф. Механика пробивания керамических преград // Физика горения и взрыва. 2017. Т. 53, № 1. С. 123 – 128. DOI: 10.15372/FGV20170115
21. Мурзин С. П., Балякин В. Б., Мельников А. А. и др. Определение возможности улучшения трибологических свойств керамики из карбида кремния импульсно-периодической лазерной обработкой // Компьютерная оптика. 2015. Т. 39, № 1. С. 64 – 67.