Лазерная технология удаления токопроводящих покрытий с электрообогреваемых изделий остекления (обзор)

Д. Н. ПЕТРАЧКОВ¹ (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), канд. тех. наук В. И. САМСОНОВ¹, д-р хим. наук В. Н. СИГАЕВ², Н. А. РУКАВИЧКИН^1,2, Е. О. КОЗЛОВА^1,2; ¹ГНЦ РФ АО «ОНПП «Технология» им. А. Г. Ромашина» (Россия, г. Обнинск)
² ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева» (РХТУ им. Д. И. Менделеева) (Россия, г. Москва)

1. Стефанюк И. В., Тавгень В. В., Шкадрецова В. Г. и др. Влияние условия формирования на каталитические свойства самоочищающихся покрытий // Стекло и керамика. 2003. ? 6. С. 27 ? 29. ?Stefanyuk I. V., Tavgen' V. V., Shkadretsova V. G. et al. Effect of Formation Conditions on Catalytic Properties of Self Purifying Coatings // Glass Ceram. 2003. V. 60. No. 5 ? 6. P. 190 ? 192.? 2. Korotchenkov G., Brinzari V., Cerneavschi A. et al. The influence of film structure on In2O3 gas response // Thin Solid Films. 2004. V. 460. P. 315 ? 323. 3. Chopra K. L., Majoz S., Pandya D. K. Transparent conductors a status review // Thin Solid Films. 1983. 102. P. 1 ? 46. 4. Mitzuhashi M. Electrical properties of vacuum deposited indium oxide and indium tin oxide films // Thin Solid Films. 1980. V. 70. P. 91 ? 100. 5. Лазарев И. Б., Краснов В. Г., Шаплыгин И. С. Электропроводность окисных систем и пленочных структур. М.: Наука, 1979. 168 с. 6. А.с. СССР 278985. Способ снятия тонкослойных покрытий со стеклянных подложек / М. Х. Ахмадеев, С. О. Мирумянц, О. Д. Караулова; заявл. 11.04.1969; опубл. 21.08.1970 // Бюл. 1969. ? 26. 7. Keller U. Ultrafast all-solid-state laser technology // Applied Physics B. 1994. V. 58. Nо. 4. P. 347 ? 363. 8. Oh G. T., Kwon S. J., Han J. H., Cho E. S. Laser direct ablation of indium tin oxide films on both sides of various substrates // Journal of Nanoscience and Nanotechnology. 2015. V. 15. Nо. 3. P. 2413 ? 2417. 9. Wang J. X., Kwon S. J., Han J. H., Cho E. S. Nd:YVO4. Laser direct ablation of indium tin oxide films deposited on glass and polyethylene terephthalate substrates // Nanotechnology. 2015. V. 13. Nо. 9. P. 6280 ? 6285. 10. Lee K. C., Lee C. Comparison of ITO ablation characteristics using KrF excimer laser and Nd:YAG laser // Proceedings of SPIE (Second International Symposium on Laser Precision Microfabrication). 2002. V. 4426. P. 260 ? 263. 11. Choi H. W., Farson D. F., Bovatsek J. et al. Direct-write patterning of indium-tin-oxide film by high pulse repetition frequency femtosecond laser ablation // Applied Optics. 2007. V. 46. Nо. 23. P. 5792 ? 5799. 12. Henry M., Harrison P. M., Wendland J. Rapid laser patterning of ITO on glass for next generation plasma display panel manufacture // SID Symposium Digest of Technical Papers. 2007. V. 38. Nо. 1. P. 1209 ? 1212. 13. Bian Q., Yu X., Zhao B., Lei S. Femtosecond laser ablation of indium tin-oxide narrow grooves for thin film solar cells // Optics & Laser Technology. 2013.V. 45. Nо. 1. P. 395 ? 401. 14. Суйковская Н. В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. Л.: Химия, 1971. 200 с. 15. Мотузюк А. В. Лазерная обработка тонкопленочных покрытий электрообогреваемых стекол // Тр. VI Всерос. конф. ?Принципы и механизмы формирования национальной инновационной системы? в 2015 году ? ?Развитие кооперации в крупных высокотехнологичных проектах?. Дубна, 2015. 16. Кисель В., Гулевич A., Кондратюк Н. Иттербиевые твердотельные лазерные системы // Фотоника. 2011. ? 2. 17. Нормы безопасности на железнодорожном транспорте. Изделия остекления безопасные подвижного состава железных дорог. Высокопрочные стекла кабины машиниста тягового и моторвагонного подвижного состава, НБ ЖТЦТ-ЦЛ 135-2003. М.: ГУП ВНИЖТ МПС России, 2003.