Методами рентгеноэлектронной спектроскопии и атомной силовой микроскопии исследованы тонкие пленки кварца на стали и меди, полученные методом катодного распыления кремния в кислороде. Рассмотрена кинетика образования пленок. Табл. 2, ил. 4, библиогр.: 22 назв.
NULL
NULL
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
Нет в продаже
УДК 539.215.216.2:546.28
Тип статьи:
Покрытия. Эмали.
Оформить заявку
