Лазерный импульсный отжиг стеклянных пластин при частичном их накрытии излучением

Д-р техн. наук А. Ф. КОВАЛЕНКО (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.); ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н. Л. Духова» (Россия, г. Москва)

Степанов А. Л. Лазерный отжиг диэлектриков с металлическими наночастицами // Оптика и спектроскопия. 2011. Т. 111. ? 2. С. 245 ? 249. Степанов А. Л., Валеев В. Ф., Нуждин В. И. Отжиг эксимерным лазером силикатного стекла с ионно-синтезированными наночастицами серебра // Журнал технической физики. 2009. Т. 79. Вып. 10. С. 102 ? 109. Osborne D. H., Haglund R. F., Gonnela F., Garrido F. Laser-induced sign reversal of the nonlinear refractive index of Ag nanoclusters in soda-lime glass // Appl. Phys. В. 1998. V. 66. P. 517 ? 521. Технологические процессы лазерной обработки / под ред. А. Г. Григорьянца. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. 664 с. Коваленко А. Ф. Неразрушающие режимы термообработки стеклянных и керамических пластин // Стекло и керамика. 2003. ? 12. С. 29 ? 30. ?Kovalenko A. F. Nondestructive Heat-Treatment Regimes for Glass and Ceramic Plates // Glass and Ceram. 2003. V. 60. N 11 ? 12. P. 414 ? 416.? Коваленко А. Ф., Никитин И. В. Уточнение неразрушающих режимов лазерной обработки стеклянных и керамических пластин // Стекло и керамика. 2012. ? 2. С. 23 ? 24. ?Kovalenko A. F., Nikitin I. V. Improved Determination of Nondestructive Regimes for Laser Processing of Glass and Ceramic Plates // Glass and Ceram. 2012. V. 69. N 1 ? 2. P. 59 ? 60.? Коваленко А. Ф. Неразрушающие режимы импульсного лазерного отжига стеклянных и керамических пластин // Стекло и керамика. 2006. ? 7. С. 31 ? 33. ?Kovalenko A. F. Nondestructive Regimes of Laser Pulse Annealing of Glass and Ceramic Plates // Glass and Ceram. 2006. V. 63. N 7 ? 8. P. 242 ? 244.? Коваленко А. Ф. Способы импульсного лазерного отжига неметаллических пластин // Стекло и керамика. 2016. ? 6. С. 31 ? 33. ?Kovalenko A. F. Metods of Pulsed Laser Annealing of Nonmetallic Plates // Glass and Ceram. 2016. V. 73. N 5 ? 6. P. 227 ? 230.? Kovalenko A. F., Vorobiev A. A. Metods of Determining Nondestructive Pulsed Laser Annealing Modes for Dielectric and Semiconductor Wafers // Russian Microelectronics. 2015. V. 44. N 8. P. 590 ? 594. Коваленко А. Ф. Метод обоснования неразрушающих режимов обработки диэлектрических и полупроводниковых пластин гауссовым пучком лазерного излучения // Физика и химия обработки материалов. 2003. ? 6. С. 73 ? 78. Коваленко А. Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов // Приборы и техника эксперимента. 2004. ? 4. С. 119 ? 124. Пат. на полезную модель ? 162815 U1. МПК В23К 26/064. Установка для лазерной обработки / А. Ф. Коваленко. Опубл. 27.06.2016 // Бюл. 2016. ? 18. ГОСТ 9411?90. Стекло цветное оптическое. М.: Изд-во стандартов, 1992. 48 с.