Ежемесячный научно-технический и производственный журнал

ISSN 0131-9582

Результаты поиска: найдено 1 элементов.

1. ПРИМЕНЕНИЕ КАРБИДОКРЕМНИЕВОГО ПЕСКА В ТЕХНОЛОГИИ ОБРАБОТКИ ОБРАТНОЙ СТОРОНЫ КРЕМНИЕВЫХ ТРАНЗИСТОРНЫХ СТРУКТУР
(Без рубрики)
Предложен метод обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур перед процессом напыления металлов и получения контакта к коллектору формируемого транзистора. Исследованы параметры шероховатости ...