Представлены результаты алмазно-абразивной обработки обратной стороны полупроводниковых пластин из карбида кремния политипов 4H и 6H. Исследованы размеры поверхностных микротрещин керамических пластин ...
Приведены примеры успешного применения новых типов алмазного инструмента для высокоэффективной обработки широкого класса материалов, таких как стекло, керамика, сапфир, полупроводниковые материалы, различные ...