Представлено применение щелочного стекла в конструкции микромеханических датчиков, в частности акселерометров. Щелочное стекло используется в конструкции чувствительных элементов указанных приборов. Основной ...
Рассмотрены физико-химические процессы, происходящие в структуре щелочного стекла и на границе раздела кремний–стекло при анодном соединении стеклянных и кремниевых пластин. Соединение данных материалов ...
