Представлено применение щелочного стекла в конструкции микромеханических датчиков, в частности акселерометров. Щелочное стекло используется в конструкции чувствительных элементов указанных приборов. Основной технологической операцией сборки таких чувствительных элементов является электростатическое соединение, также известное как анодное соединение. При этом в стекле протекает ряд сложных физических эффектов. От качества выполнения деталей из щелочного стекла и кремния зависит надежность функционирования изготавливаемых приборов
ГОСТ Р 8.596?2002. Государственная система обеспечения единства измерений. Метрологическое обеспечение измерительных систем. Основные положения. М.: Стандартинформ, 2002. 15 с.
Мокров Е. А., Папко А. А. Акселерометры НИИ физических измерений ? элементы микросистемотехники // Микросистемная техника. 2002. ? 1. С. 3.
Козин С. А., Федулов А. В., Пауткин В. Е. Разработка технологии и специального оборудования для соединения кремния со стеклом в поле высокого напряжения // Датчики и системы. 2005. ? 9. С. 46 ? 47.
Глинка Н. Л. Общая химия: учеб. пособие для вузов / под ред. В. А. Попкова, А. В. Бабкова. 19-е изд., перераб. и доп. М.: Юрайт, 2015. 900 с.
Яворский Б. М., Детлаф А. А. Справочник по физике для инженеров и студентов вузов. 8-е изд. М.: Оникс, 2006. 1056 с.
Табенкин А. Н., Тарасов С. Б., Степанов С. Н. Шероховатость, волнистость, профиль. Международный опыт / под ред. канд. техн. наук Н.А. Табачниковой. СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2007. 136 с.
Прокопьев Е. П., Тимошенков С. П., Суворов А. Л. и др. Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества. М.: Ин-т теоретической и экспериментальной физики, 2000. 19 с., [1].
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500 руб
УДК 666.112:531.7.084.2
Тип статьи:
На предприятиях и в институтах
Оформить заявку