Предложен метод обработки обратной стороны кремниевых транзисторных структур перед процессом напыления металлов и получения контакта к коллектору формируемого транзистора. Исследованы параметры шероховатости ...
Предложены различные методы защиты поверхности кремниевых подложек для изготовления кремниевых транзисторов. Приведены результаты проведения термических операций с техно-логическими режимами получения ...
... тонкопленочных транзисторов, где его выдающиеся диэлектрические свойства и термическая стабильность становятся определяющими факторами. Это позволяет создавать надежные и высокопроизводительные электронные ...
Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Показано, что применение разработанных ...
Проведено информационно-аналитическое исследование технологии металлизации керамики из нитрида алюминия. На отечественных и зарубежных предприятиях широко ведутся работы по разработке тонкопленочной и ...
