Ежемесячный научно-технический и производственный журнал

ISSN 0131-9582

Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки

Информация о материале
Просмотров: 22781
Авторы: Канаев А. А., Городецкий А. Е.
  • Сквозной номер выпуска: 1037
  • Страницы статьи: 29-32
  • Поделиться:

Рубрика: Обработка материалов

Под действием поверхностно-активных веществ, входящих в полировальные составы, вследствие проявления эффекта Ребиндера происходит сильное разрушение исходной кристаллической структуры тончайшего (десятые и сотые доли микрометра) поверхностного слоя обрабатываемого материала (кремния) и изменение его деформационно-прочностных свойств. Использование активных присадок к полировальным составам, в том числе нетрадиционных, позволяет уменьшать толщину нарушенного слоя в 1,5 - 2 раза, значительно увеличив при этом производительность полировки.
Канд. техн. наук А. А. Канаев (Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), канд. физ.-мат. наук А. Е. Городецкий (Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.); Институт физической химии и электрохимии РАН им. А. Н. Фрумкина (Россия, г. Москва)
NULL

Статью можно приобрести
в электронном виде!

PDF формат

500 руб

УДК 541.68:539.8:666.1.053.5
Тип статьи: Обработка материалов
Оформить заявку

Ключевые слова

кремний, полировка, эффект Ребиндера

Для цитирования статьи

Канаев А. А., Городецкий А. Е. Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки // Стекло и керамика. 2014. Т. 87, № 5. С. 29-32. УДК 541.68:539.8:666.1.053.5
Баннер снизу

Главный редактор

Соколова Людмила Владимировна