Представлены результаты работы по стабилизации толщины стенки кварцевых труб методом наружного парофазного осаждения при высокотемпературном гидролизе тетрахлорида кремния. Определены технологические параметры осаждения пористого слоя и его спекания. Получены бездефектные слои стекла толщиной более 0,2 мм с возможностью снижения окружной разнотолщинности труб с 0,2 до 0,05 мм.
С. В. Буреев
1, д-р техн. наук М. А. Ероньян
1, А. Ю. Кулеш
2 (
Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), д-р техн. наук И. К. Мешковский
2, Е. И. Ромашова
1, канд. хим. наук М. К. Цибиногина
3;
1 ОАО "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения ВНЦ "ГОИ им. С. И. Вавилова" (Россия, г. Санкт-Петербург),
2 Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий механики и оптики (Россия, г. Санкт-Петербург),
3 ОАО "Пермская научно-производственная приборостроительная компания" (Россия, г. Пермь)
NULL
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
700 руб
УДК 666.1
Тип статьи:
Обработка материалов
Оформить заявку
