Лазерное сверление микроотверстий в стекле

Д-р техн. наук В. С. КОНДРАТЕНКО1, 2 (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), канд. техн. наук В. В. КАДОМКИН¹, ЛУ ХУНГ-ТУ², канд. техн. наук А. С. НАУМОВ², канд. техн. наук И. Э. ВЕЛИКОВСКИЙ²; ¹МИРЭА - Российский технологический университет (Россия, г. Москва)
²Компания Nanoplus Tech (Тайвань)

Hof L. A., Jana Abou Ziki. Micro-Hole Drilling on Glass Substrates: A Review / Department of Mechanical & Industrial Engineering, Concordia University, Bharti School of Engineering, Laurentian University: Sudbury Published, 2017. CO2-Laser Drilling of through Glass Vias (TGVs) / Fraunhofer Institute for Reliability and Micro-Integration IZM. URL: http://www.izm.fraunhofer.de. (Accessed on 7 February 2017). Brusberg L., Queisser M., Gentsch C. et al. Advances in CO2-Laser Drilling of Glass Substrates // Physics Procedia. 2012. V. 39 / Fraunhofer Institute for Reliability and Micro-Integration IZM. Hwang D. J., Choi T. Y., Grigoropoulos C. P. Liquid-assisted femtosecond laser drilling of straight and three-dimensional microchannels in glass // Appl. Phys. A. Mater. Sci. Process. 2004. V. 79. P. 605 ? 612. Castillejo M., Ossi P. M., Zhigilei L. Lasers in Materials Science. Cham: Springer, 2014. Вакс Е. Д., Миленький М. Н., Сапрыкин Л. Г. Практика прецизионной лазерной обработки. М.: Техносфера, 2013. Kruusing A. Underwater and water-assisted laser processing. Pt 2. Etching, cutting and rarely used method. Tallinn: Tallinn Technical University, 2002. Reo Murakami, Hiroyuki Nakagawa, and Shigeki. Water-Assisted Laser Drilling for Miniature Internal Thread in Glass and Evaluation of Its Strength / Matsuo Department of Mechanical Engineering, Shibaura Institute of Technology // Journal of Laser Micro Nanoengineering. Published. 2017. V. 12. No. 3. P. 203 ? 206. Huang H., Yang L., Liu J. Micro-hole drilling and cutting using femtosecond fiber laser // Opt. Eng. 2014. V. 53. Александров А. А., Григорьев Б. А. Таблицы теплофизических свойств воды и водяного пара. М.: Изд-во МЭИ, 1999. 168 с. Ожерелкова Л. М., Савин Е. С. Температурная зависимость нестационарной теплопроводности твердых тел // Российский технологический журнал. 2019. Т. 7. ? 2. С. 49 ? 60.