ISSN 0131-9582
Разработан метод устранения зазоров между стеклянными пластинами при термическом соединении с использованием системы для распределения механической нагрузки. Проведены теоретические и экспериментальные исследования предложенного метода. Представлены результаты численного и натурного экспериментов, подтверждающие эффективность предложенного метода.
Ксения Игоревна Миланина – аспирант 1-го года обучения, лаборант-исследователь НОЦ НТ-94 (Научно-образовательный центр нанотехнологий), Самарский университет, Самара, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Андрей Николаевич Агафонов – канд. техн. наук, доцент кафедры наноинженерии, ст. науч. сотрудник НОЦ ГДИ-209 (Научно-образовательный центр газодинамических исследований), ст. науч. сотрудник НОЦ НТ-94 (Научно-образовательный центр нанотехнологий), Самарский университет, Самара, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Тарас Андреевич Андреев – инженер кафедры наноинженерии, Самарский университет, инженер-технолог 2 категории, АО «НИИ «Экран» Самара, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
1. Agafonov A. N., Platonov V. I., Batalova A. M., et al. Development of the manufacturing technology of mi-crofluidic systems on glass plates // AIP Conference Pro-ceedings. International Conference on Advanced Materials, ICAM 2019. New Delhi, 6 – 7 March 2019. New Delhi: American Institute of Physics Inc., 2020. V. 2276. P. 1 – 10.
2. Платонов И. А., Платонов В. И., Колесниченко И. Н. и др. Микрофлюидные системы в газовом анализе: обзор // Сорбционные и хроматографические процессы. 2015. Т. 15, № 6. С. 754 – 768.
3. Потиенко К. И., Агафонов А. Н. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек // Международная молодежная научная конференция «XV Королёвские чтения», посвященная 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова: сб. тр. Самара, 8 – 10 октября 2019 г. Самара, 2019. Т. 1. С. 415–416.
4. Миланина К. И., Агафонов А. Н., Ляпина А. А. Способ герметизации микрофлюидных систем на стеклянных подложках // Всероссийская научно-техническая конференция «Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций». Самара, 21 – 23 апреля 2021 г. Самара, 2021. С. 114 – 116.
5. Renberg B., Sato K., Tsukahara T., et al. Hands on: thermal bonding of nano- and microfluidic chips // Microchim. Acta. 2009. V. 166. P. 177 – 181. URL: https:// doi.org/10.1007/s00604-009-0166-y
6. Knowles K. M., van Helvoort A. T. J. Anodic bonding // International Materials Reviews. 2006. V. 51, No. 5. P. 273 – 311. DOI: 10.1179/174328006X102501
7. Zhi-Jian Jia, Qun Fang, Zhao-Lun Fang. Bonding of Glass Microfluidic Chips at Room Temperatures // Anal. Chem. 2004. V. 76, No. 18. P. 5597 – 5602. URL: https:// doi.org/10.1021/ac0494477
8. Yu-Jen Pan, Ruey-Jen Yang. A glass microfluidic chip adhesive bonding method at room temperature // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2006. V. 16, No. 12. P. 2666 – 2672.
9. Claus R. O. Surface and Near-Surface Defects in Glass-to-Glass Bonds: Author Affiliations // Proc. SPIE. Optomechanical Systems Design. 1980. V. 0250. URL: https://doi.org/10.1117/12.959434
10. ГОСТ 2789–73. Межгосударственный стандарт. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики (с Изменениями 1, 2). М.: Стан-дартинформ, 2018.
11. Kentsch J., Breisch S. Low temperature adhesion bonding for BioMEMS // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2006. V. 16, No. 4. P. 802 – 807. DOI: 10.1088/0960-1317/16/4/017
12. ГОСТ 24642–81. Межгосударственный стандарт. Основные нормы взаимозаменяемости. Допуски формы и расположения поверхностей. М.: Изд-во стандартов, 2002. 45 с.
13. ГОСТ 9284–75. Межгосударственный стандарт. Стекла предметные для микропрепаратов. Технические условия. М.: Изд-во стандартов, 1999. 4 с.
14. Chen Z., Zhang L., Chen G. A spring-driven press device for hot embossing and thermal bonding of PMMA microfluidic chips // ELECTROPHORESIS. 2010. V. 31. P. 2512 – 2519. URL: https://doi.org/10.1002/elps.201000084
15. Пат. на изобр. 2766979 С1. Способ термического соединения стеклянных пластин с микроструктурами на одной из их поверхностей / А. Н. Агафонов, К. И. Миланина, Т. А. Андреев, В. И. Платонов; заявка 2020139856 от 02.12.2020; опубл. 16. 03. 2022.
16. Ильюшин А. А. Труды. Т. 3. Теория термовязкоупругости. М.: Физматлит, 2007. 288 с.
17. Китайгородский И. И. Справочник по производству стекла: в 2 т. Т. 1. М.: Госстройиздат, 1963. 1026 с.
термическое соединение
, вязкоупругая деформация, плоскостность, микросистемная техника, микрофлюидика.Миланина К. И., Агафонов А. Н., Андреев Т. А. Способ устранения дефектов плоскостности стеклянных пластин при их термическом соединении // Стекло и керамика. 2022. Т. 95, № 9. С. 13 – 20. DOI: 10.14489/glc.2022.09.pp.013-020
