Разработан способ одностороннего растравливания входных отверстий каналов невытравленных заготовок микроканальных пластин в разбавленной плавиковой кислоте. В работе использовали заготовки микроканальных пластин МКП 18-10. Обработку проводили в 0,2 н. растворе плавиковой кислоты при комнатной температуре без колебания и перемешивания раствора. Полученные результаты позволяют утверждать, что растравливание входных отверстий каналов составляет более 10 % от диаметра каналов МКП 18-10, что увеличивает электронную прозрачность прибора.
Олег Газизович Ашхотов – д-р физ.-мат. наук, профессор, кафедра электроники и цифровых информационных технологий, Кабардино-Балкарский государственный университет (КБГУ), Нальчик, КБР, Россия
Ирина Борисовна Ашхотова – канд. техн. наук, доцент, кафедра электроники и цифровых информационных технологий, Кабардино-Балкарский государственный университет (КБГУ), Нальчик, КБР, Россия
Тамерлан Таймуразович Магкоев – д-р физ.-мат. наук, профессор, кафедра физики конденсированного состояния, Северо-Осетинский государственный университет, Владикавказ, Россия
1. Николаев Д. Н. Электронно-оптические преобразователи. История развития и виды поколений // Доклады ТУСУРа. 2007. № 1(15). С. 29 – 33.
2. Кулов С. К. Качество поверхности микроканальных пластин. Ч. 3. Химические свойства поверхности силикатных стекол. Владикавказ: Изд-во «Терек» СКГТУ, 2002. 336 с.
3. Бекузаров Т. В., Алкацева Т. Д., Самканашвили Д. Г., Кривов С. В. Исследование поверхностного слоя НВЗ на различных стадиях механической обработки // XXXVI Международная научно-практическая конференция «Приоритеты мировой науки: Новые подходы и актуальные исследования»: сб. тр. 30 декабря 2022 г. Анапа. Анапа, 2022. 137 с.
4. Ашхотов О. Г., Ашхотова И. Б., Магкоев Т. Т. Взаимодействие свинцовосиликатных стекол с разбавленными растворами фтористоводородной кислоты // Стекло и керамика. 2021. № 5. С. 40 – 43. [Ashkhotov O. G., Ashkhotova I. B., Magkoev T. T. Interaction of lead-silicate glasses with dilute solutions of fluoric acid Ashkhotov O. G., Ashkhotova I. B., Magkoev T. T. Interaction of lead-silicate glasses with dilute solutions of fluoric acid // Glass Ceram. 2021. V. 78, No. 5–6. P. 204 – 206.]
5. Ашхотова И. Б. Влияние физико-химических операций на процесс формирования исполнительной поверхности микроканальных пластин: дис. … канд. техн. наук. Владикавказ: СКГТУ, 2003. 122 с.
6. Молчанов В. С., Андрианова Л. В. Скорость разрушения оптических стекол в растворах фтористоводородной кислоты // ОМП. 1973. № 11. С. 40.
7. Молчанова О. С., Орлова Л. А., Красиков С. Е. О взаимодействии пористого стекла со щелочью и плавиковой кислотой // Физ. и хим. стекла. 1989. Т. 4, № 2. С. 451 – 458.
8. Толмачев В. А., Окатов М. А., Пальчевский В. В. и др. Взаимодействие свинцовосиликатного стекла с разбавленными растворами плавиковой кислоты // Физ. и хим. стекла. 1990. Т. 16, № 1. С. 107 – 110.
9. Ашхотова И. Б., Ашхотов О. Г., Мусаева Э. Б. Химическая устойчивость НВЗ МКП в разбавленных растворах плавиковой кислоты // Тезисы докладов региональной конференции «Вакуумная электроника на Северном Кавказе». 24 – 29 сентября 2002. г. Нальчик. Нальчик: Изд-во КБГУ, 2002. 89 с.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500
DOI: 10.14489/glc.2024.08.pp.007-010
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
