ИССЛЕДОВАНИЕ ВЕРОЯТНЫХ ИСТОЧНИКОВ НЕКОНТРОЛИРУЕМЫХ ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ И ИССЛЕДОВАНИИ ВЫСОКОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ФОТОНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ

Елена Николаевна Воронина – аспирант кафедры химии и технологии кристаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Елена Николаевна Можевитина – канд. хим. наук, доцент кафедры химии и технологии кристаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Софья Сергеевна Зыкова – студент магистратуры кафедры химии и технологии кристаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Марина Павловна Зыкова – канд. хим. наук, ассистент кафедры химии и технологии кристаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Игорь Христофорович Аветисов – д-р хим. наук, заведующий кафедрой химии и технологии кристаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия

1. Наумов А. В., Орехов Д. Л. Новый этап развития рынка поликристаллического кремния // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2022. Т. 25, № 1. C. 23 – 38.
2. Чурбанов М. Ф., Колесников А. Н., Туранов А. Н. и др. Высокочистые вещества. М.: Научный мир, 2018. 994 с.
3. ГОСТ Р ИСО 14644-1–2017. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 1. Классификация чистоты воздуха. М.: Стандартинформ, 2017.
4. ГОСТ Р ИСО 14644-2–2020. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 2. Текущий контроль для подтверждения постоянного соответствия чистоты воздуха по концентрации частиц. М.: Стандартинформ, 2020.
5. ГОСТ Р ИСО 14644-3–2020. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 3. Методы испытаний. М.: Стандартинформ, 2020.
6. ГОСТ Р ИСО 14644-4–2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию. М.: Стандартинформ, 2002.
7. ГОСТ Р ИСО 14644-5–2005. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 5. Эксплуатация. М.: Стандартинформ, 2005.
8. ГОСТ Р ИСО 14644-7–2007. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения). М.: Стандартинформ, 2007.
9. ГОСТ Р ИСО 14644-8–2014. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений. М.: Стандартинформ, 2014.
10. ГОСТ Р ИСО 14644-9–2013. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц. М.: Стандартинформ, 2013.
11. ГОСТ Р ИСО 14644-10–2014. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч. 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений. М.: Стандартинформ, 2014.
12. Krzciuk K. Intelligent analysis of samples by semiquantitative inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP–MS) technique: A review // Critical Reviews in Analytical Chemistry. 2015. V. 46, No. 4. P. 284 – 290.
13. Yamada N. Kinetic energy discrimination in collision/reaction cell ICP-MS: Theoretical review of principles and limitations // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2015. V. 110. P. 31 – 44.
14. Hesse M., Halbritter H., Zetter R., et al. Pollen terminology. An illustrated handbook. New York: SpringerWein, 2009. 264 p.
15. Ansell – leading the way forward in safety solutions for all. URL: https://www.ansell.com/us/en (дата обращения: 24.02.2024).