В рамках квазистатической несвязанной задачи термоупругости получен критерий термопрочности свободно защемленной пластины при импульсном лазерном отжиге с учетом отражения лазерного излучения от тыльной поверхности пластины. Показана возможность снижения максимальных растягивающих напряжений в пластине на 15…65 %, энергетических затрат на отжиг – на 8…30 %. Установлено, что учет отражения лазерного излучения от тыльной поверхности пластины приводит к уменьшению области изменения безразмерного параметра ?h (произведение показателя поглощения на толщину пластины), в которой возможно разрушение пластины термоупругими напряжениями в процессе отжига.
Валентин Иванович Бутин – доктор технических наук, начальник научно-исследовательского отделения, ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н. Л. Духова», Москва, Россия; профессор, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
Александр Федорович Коваленко – доктор технических наук, доцент, начальник научно-исследовательского отдела, ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н. Л. Духова», Москва, Россия; профессор, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва, Россия
1. Технологические процессы лазерной обработки / под ред. А. Г. Григорьянца. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. 664 с.
2. Simonds B. J., Misra S., Paudel N., et al. Near infrared laser annealing of CdTe and in-situ measurement of the evolution of structural and optical properties // Journal of Applied Physics. 2016. V. 119, Is. 16, art. 165305.
3. Мухаммад А. И., Гайдук П. И., Наливайко О. Ю., Колос В. В. ИК-прозрачность островных структур Si/SiO2/Si3N4/Si, сформированных методом селективного лазерного отжига // Журнал прикладной спектроскопии. 2022. Т. 89, № 4. С. 511 – 518.
4. Комаров Ф. Ф., Власукова Л. А., Мильчанин О. В. и др. Оптические свойства слоев кремния, гипердопированных селенидом: эффекты лазерной и термической обработки // Журнал прикладной спектроскопии. 2023. Т. 90, № 2. С. 266 – 274.
5. Степанов А. П., Валеев В. Ф., Нуждин В. И. Отжиг эксимерным лазером силикатного стекла с ионно-синтезированными наночастицами серебра // Журнал технической физики. 2009. Т. 79, Вып. 10. С. 102 – 109.
6. Коваленко А. Ф. Варианты импульсного лазерного отжига диэлектрических пластин с наночастицами металлов // XIV Международная конференция по фотонике и информационной оптике: сб. науч. тр. М.: НИЯУ МИФИ, 2025. С. 407 – 408.
7. Gupta M. C., Strasser T., Bellman R. Laser annealing of Corning 7059 glass waveguides // Applied optics. 1990. V. 29, No. 15. Р. 2307 – 2310.
8. Коваленко А. Ф. Способы импульсного лазерного отжига неметаллических пластин // Стекло и керамика. 2016. № 6. С. 31 – 35. [Kovalenko A. F. Methods of pulsed laser annealing of nonmetallic plates // Glass Ceram. 2016. V. 73, No 5–6. P. 227 – 230.]
9. ГОСТ 3514–94. Стекло оптическое бесцветное. М.: Изд-во стандартов, 1996. 38 с.
10. Alekseev R., Avakyan L., Shakhgildyan G., et al. Local atomic structure of the high refractive index La2O3–Nb2O5–B2O3 glasses // Journal of Alloys and Compounds. 2022. V. 917. P. 1653578.
11. Алексеев Р. О., Савинков В. И., Сигаев В. Н. Исследование структуры и свойств стекол системы La2O3–MnOm–B2O3 (M = Nb, Ta, Ti, Zr) // Стекло и керамика. 2021. Т. 94, № 12. С. 3 – 8. [Alekseev R. O., Savvinkov V. I., Sigaev V. N. Investigation of the structure and properties of glasses in the system La2O3–MnOm–B2O3 (M = Nb, Ta, Ti, Zr) // Glass Ceram. 2021. V. 78, No. 11–12. P. 467 – 470.]
12. Алексеев Р. О., Романов Н. А., Савинков В. И. и др. Многокомпонентные оптические стекла с высоким значением показателя преломления // Стекло и керамика. 2021. № 1. С. 3 – 8. [Alekseev R. O., Romanov N. A., Savinkov V. I., et al. Multicomponent optical glasses with refractive index // Glass Ceram. 2021. V. 78, No. 1–2. P. 3 – 8.]
13. Терехова А. Б., Бутенков Д. А., Рунина К. И. и др. Синтез и оптические свойства свинцово-галлатных стекол // Стекло и керамика. 2024. Т. 97, № 9. С. 10 – 19. [Terekhova A. B., Butenkov D. A., Runina K. I., et al. Synthesis, structure, and optical properties of leand gallate glasses // Glass Ceram. 2025. V. 81. P. 348 – 355.]
14. Крылов Н. И., Блинов Л. Н., Полякова В. В. Галогенхалькогенидные и оксигалогенидные полупроводниковые и диэлектрические стекла: получение и свойства // Физика и химия стекла. 2021. Т. 47, № 6. С. 641 – 645.
15. Блинов Л. Н., Семенча А. В. Халькогенидные стеклообразные материалы в Политехническом: монография. СПб.: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019. 280 с.
16. Казюткина Ю. С. Особенности нелинейного оптического отклика в халькогенидных стеклах вблизи края полосы фундаментального поглощения: дис. … канд. физ.-мат. наук. Саратов, 2015. 141 с.
17. Зверев В. А., Кривопустова Е. В., Точилина Т. В. Оптические материалы. Часть 2. СПб.: СПб НИУ ИТМО, 2013. 248 с.
18. Рупасов А. Е., Данилов П. А., Илнин А. А. и др. Взаимодействие фемтосекундного лазерного излучения с халькогенидными стеклами различного состава // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130, № 4. С. 550 – 554.
19. Бажанов В. Л., Гольденблат И. И., Николаенко Н. А., Синюков А. М. Расчет конструкций на тепловые воздействия. М.: Машиностроение, 1969. 600 с.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
700 руб
DOI: 10.14489/glc.2025.06.pp.018-023
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
