Исследованы дефекты невытравленных заготовок микроканальных пластин после их механической обработки. Установлено, что при операциях резки и шлифовки появляются дефекты, приводящие к образованию сквозных и несквозных паразитных каналов, а также к деформации каналов, граничащих с обрамлением и на стыке многожильных стеклянных стержней. Установлено, что в основном дефекты возникают на этапе сборки и вытяжки компонентов микроканальных пластин. Показано, что изученные дефекты не влияют на интегральное и локальное электрическое сопротивление заготовок.
Олег Газизович Ашхотов – доктор физико-математических наук, профессор, кафедра электроники и цифровых информационных технологий, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова (КБГУ), Нальчик, Россия
Ирина Борисовна Ашхотова – кандидат технических наук, доцент, кафедра электроники и цифровых информационных технологий, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова (КБГУ), Нальчик, Россия
Тамерлан Таймуразович Магкоев – доктор физико-математических наук, профессор, кафедра физики конденсированного состояния, Северо-Осетинский государственный университет им. К. Л. Хетагурова, Владикавказ, Россия
1. Кулов С. К. Качество поверхности микроканальных пластин. Ч. 1 – 3. ВТЦ «Баспик»: Владикавказ, 2002.
2. Вайнберг В. Б., Саттаров Л. Н. Оптика световодов. М.: Машиностроение, 1977. 320 с.
3. Ашхотова И. Б. Влияние физико-химических операций на процесс формирования исполнительной поверхности микроканальных пластин: дис. … канд. техн. наук. Владикавказ: СКГТУ, 2003. 122 с.
4. KLA Tencor, Alpha-Step® D-500 URL: https://www.kla-tencor.com/Surface-Profiling/alphastep-d-500.html
5. Бирюков Е. Н., Хохлова А. И., Теплова Т. Б., Лапшин И. В. Влияние неравномерного трещиноватого слоя поверхности обработанных пластин хрупких материалов на качество готовых изделий // Горный информационно-аналитический бюллетень. 2018. № 8. С. 26 – 35.
6. Ашхотов О. Г., Ашхотова И. Б., Соцков В. А. Исследование поверхности свинцово-силикатных стекол после механической обработки // Физика и химия стекла. 2021. Т, 47, № 3. С. 350 – 353.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
700 руб
DOI: 10.14489/glc.2026.04.pp.049-054
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
