ФИНИШНАЯ ПОЛИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ КОРУНДОВОЙ КЕРАМИКИ ИОННО-КЛАСТЕРНЫМ ПУЧКОМ АРГОНА

Марина Владимировна Яковлева – лаборант, отдел прикладной физики, Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Николай Геннадьевич Коробейщиков – доктор физико-математических наук, ведущий научный сотрудник, отдел прикладной физики, Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Иван Владимирович Николаев – кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник, отдел прикладной физики, Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Александр Владимирович Лукьянов – ведущий инженер, отдел прикладной физики, Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Евгений Александрович Монастырев – генеральный директор, АО «Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов», Томск, Россия
Ирина Дмитриевна Филимонова – начальник технологического комплекса, АО «Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов», Томск, Россия
Даниил Кириллович Аввакумов – техник, АО «Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов», Томск, Россия

1. Zemtsova E. G., Monin A. V., Smirnov V. M., et al. Formation and mechanical properties of alumina ceramics based on Al2O3 micro- and nanoparticles // Physical Mesomechanics. 2015. V. 18. P. 134 – 138.
2. Parikh P. B. Alumina ceramics: engineering applications and domestic market potential // Transactions of the Indian Ceramic Society. 2014. V. 54(5). P. 179 – 184.
3. Treccani L., Klein T. Y., Meder F., et al. Functionalized ceramics for biomedical, biotechnological and environmental applications // Acta Biomaterialia. 2013. V. 9. P. 7115 – 7150.
4. Лукин Е. С., Ануфриева Е. В., Попова Н. А. и др. Анализ микроструктуры, качества поверхности и свойств подложек из оксида алюминия // Стекло и керамика. 2010. Т. 83, № 9. С. 9 – 14. [Lukin E. S., Anufrieva E. V., Popova N. A., et al. Analysis of surface microstructure and quality and properties of aluminum oxide substrates // Glass Ceram. 2011. V. 67. P. 271 – 276.]
5. Анисимов А. Г., Безлепкин В. А., Мали В. И. К вопросу получения высокоплотной корундовой керамики с бездефектной полированной поверхностью и низкой шероховатостью методом SPS // Стекло и керамика. 2021. Т. 94, № 10. С. 24 – 28. [Anisimov A. G., Bezlepkin V. A., Mali V. I. On the matter of obtaining high-density corundum ceramics with a defect-free polished surface and low roughness by SPS // Glass Ceram. 2022. V. 78. P. 402 – 405.]
6. Xie K. G., Xie Y., Deng H. Gas cluster ion beam smoothing technique: A review // Nanomanufacturing and Metrology. 2025. V. 8, No. 12.
7. Yamada I., Matsuo J., Toyoda N., et al. Progress and applications of cluster ion beam technology // Current Opinion in Solid State and Materials Science. 2015. V. 19. P. 12 – 18.
8. Fenner D., DiFilippo V., Bennet J., et al. Ion-beam nano-smoothing of sapphire and silicon carbide surfaces // Proceedings of SPIE. 2001. V. 4468. P. 17 – 24.
9. Zarvin A. E., Korobeishchikov N. G., Kalyada V. V., et al. Formation of mixed clusters in a pulsed supersonic helium-oxygen-isoprene jet // European Physical Journal D. 2008. V. 49(1). P. 101 – 110.
10. Korobeishchikov N. G., Nikolaev I. V., Atuchin V. V., et al. Quantifying the surface modification induced by the argon cluster ion bombardment of KGd(WO4)2:Nd single crystal // Materials Research Bulletin. 2023. V. 158. Art. 112082.
11. Chernysh V. S., Ieshkin A. E., Kireev D. S., et al. Interaction of gas cluster ions with solids: Experiment and computer simulations // Surface and Interfaces. 2020. V. 388. Art. 125608.
12.Seah M. P. Universal equation for argon gas cluster sputtering yields // J. Phys. Chem. C. 2013. V. 117. P. 12622 – 12632.