Ежемесячный научно-технический и производственный журнал

ISSN 0131-9582

  • Сквозной номер выпуска: 1125
  • Страницы статьи: 3-08
  • Поделиться:

Рубрика: Без рубрики

Исследовано влияние параметров лазерного излучения и состава травильного раствора на длину полых каналов, формируемых в кварцевом стекле одностадийным методом пространственно-селективного жидкостного травления под действием фемтосекундного лазерного пучка. Предложен многопроходный метод, значительно увеличивший длину канала до 180 мкм. Использование травиль-ных растворов, эффективно растворяющих трещиноватый слой формируемых каналов, позволяет получать более глубокие и широкие каналы при сохранении высокой селективности
Канд. хим. наук Т. О. ЛИПАТЬЕВА1 (e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.), канд. хим. наук А. С. ЛИПАТЬЕВ1, Я. В. КУЛАКОВА1, канд. хим. наук C. В. ЛОТАРЕВ1, канд. хим. наук С. С. ФЕДОТОВ1, канд. физ.-мат. наук И. В. ПРУСОВА2, д-р хим. наук В. Н. СИГАЕВ1 1ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева» (РХТУ им. Д. И. Менделеева) (Москва, Россия) 2Белорусский национальный технический университет (БНТУ) (Минск, Беларусь)
1. Bischof D., Kahl M., Michler M. Laser-assisted etching of borosilicate glass in potassium hydroxide // Optical Materials Express. 2021. V. 11, Nо. 4. P. 1185 – 1195. 2. Gottmann J., Hermans M., Repiev N., Ortmann J. Se-lective laser-induced etching of 3D precision quartz glass components for microfluidic applications–up-scaling of complexity and speed // Micromachines. 2017. V. 8, Nо. 4. P. 110. 3. Liao Y., Xu J., Sun H., et al. Fabrication of microelec-trodes deeply embedded in LiNbO3 using a femtosecond laser // Applied surface science. 2008. V. 254, No. 21. P. 7018 – 7021. 4. Liu Z., Xu J., Lin, Z., et al. Fabrication of single-mode circular optofluidic waveguides in fused silica using femtosecond laser microfabrication // Optics & Laser Technology. 2021. V. 141. P. 107118. 5. Lv J., Hong B., Tan Y., et al. Mid-infrared waveguiding in three-dimensional microstructured optical waveguides fabricated by femtosecond-laser writing and phosphoric acid etching // Photonics Research. 2020. V. 8, No. 3. P. 257 – 262. 6. Qi J., Li W., Chu W., et al. A microfluidic mixer of high throughput fabricated in glass using femtosecond laser micromachining combined with glass bonding // Micromachines. 2020. V. 11, No. 2. P. 213. 7. Qi J., Wang Z., Xu J., et al. Femtosecond laser induced selective etching in fused silica: optimization of the in-scription conditions with a high-repetition-rate laser source // Optics express. 2018. V. 26, No. 23 P. 29669 – 29678. 8. Beresna M., Gecevi?ius M., Lancry M., et al. Broadband anisotropy of femtosecond laser induced nanogratings in fused silica // Applied Physics Letters. 2013. V. 103, No. 13. P. 131903. 9. Lotarev S. V., Fedotov S. S., Kurina A. I., et al. Ultrafast laser-induced nanogratings in sodium germanate glasses // Optics letters. 2019. V. 44, No. 7. P. 1564 – 1567. 10. Richter S. Laser induced nanogratings beyond fused sili-ca-periodic nanostructures in borosilicate glasses and ULE™ // Optical Materials Express. 2013. V. 3, No. 8. P. 1161 – 1166. 11. Yu Y., Chen Y., Chen J., et al. Fabrication of microchannels by space-selective control of phase separation in glass // Optics letters. 2016. V. 41, No. 14. P. 3371 – 3374. 12. Shakhov A. M., Astafiev A. A., Nadtochenko V. A. Phys-icochemical mechanisms of nanostructuring of glass by femtosecond laser pulses with the use of selective etching // JETP Letters. 2019. V. 109, No. 5. P. 292 – 297. 13. Cao X. W., Chen Q. D., Fan H., et al. Liquid-assisted femtosecond laser precision-machining of silica // Nanomaterials. 2018. V. 8, No. 5. P. 287. 14. Fernandez T. T., Sakakura M., Eaton S. M., et al. Be-spoke photonic devices using ultrafast laser driven ion migration in glasses. // Progress in Materials Science. 2018. V. 94. P. 68 – 113. 15. Kim S., Kim J., Joung Y. H., et al. Optimization of selec-tive laser-induced etching (SLE) for fabrication of 3D glass microfluidic device with multi-layer micro channels. // Micro and Nano Systems Letters. 2019. V. 7, No. 1. P. 1 – 7. 16. Hasse K., Huber G., Kr?nkel C. Selective etching of fs-laser inscribed high aspect ratio microstructures in YAG // Optical Materials Express. 2019. V. 9, No. 9. P. 3627 – 3637. 17. Spierings G. Wet chemical etching of silicate glasses in hydrofluoric acid based solutions // Journal of Materials science. 1993. V. 28, No. 23. P. 6261 – 6273. 18. Ross C. A., MacLachlan D. G., Choudhury D., Thomson R. R. Optimisation of ultrafast laser assisted etching in fused silica // Optics express. 2018. V. 26, No. 19. P. 24343 – 24356. 19. Kwon K. K., Kim H., Kim T., Chu C. N. High Aspect ratio channel fabrication with near-infrared laser-induced backside wet etching // Journal of Materials Processing Technology. 2020. V. 278. P. 116505. 20. Niino H., Kawaguchi Y., Sato T., et al. Laser-induced backside wet etching of silica glass with ns-pulsed DPSS UV laser at the repetition rate of 40 kHz // Journal of Physics: Conference Series. IOP Publishing. 2007. V. 59, No. 1. P. 115. 21. Tsvetkov M. Y., Yusupov V. I., Minaev N. V., et al. Ef-fects of thermo-plasmonics on laser-induced backside wet etching of silicate glass // Laser Physics Letters. 2016. V. 13, No. 10. P. 106001. 22. B?hme R., Hirsch D., Zimmer K. Laser etching of trans-parent materials at a backside surface adsorbed layer // Applied surface science. 2006. V. 252, No. 13. P. 4763 – 4767. 23. Tsvetkov M. Y., Minaev N. V., Akovantseva A. A., et al. Thermoplasmonic laser-induced backside wet etching of sapphire // Quantum Electronics. 2019. V. 49, No. 2. P. 133. 24. Long J., Zhou C., et al. Incubation effect during laser-induced backside wet etching of sapphire using high-repetition-rate near-infrared nanosecond lasers // Optics & Laser Technology. 2019. V. 109. P. 61 – 70.

Статью можно приобрести
в электронном виде!

PDF формат

500 руб

УДК 666.1:666.266.6
Тип статьи: Без рубрики
Оформить заявку

Ключевые слова

Для цитирования статьи

Липатьева Т. О., Липатьев А. С., Кулакова Я. В., Лотарев С. В., Федотов С. С., Прусова И. В., Сигаев В. Н. Управление процессом жидкостного лазерно-индуцированного травления кварцевого стекла // Стекло и керамика. 2021. Т. 94, № 9. С. 3-08. УДК 666.1:666.266.6