Метод двухстадийного формирования полых каналов в стеклах путем прямой лазерной записи и последующего селективного травления активно применяется для изготовления устройств микрофлюидики. Исследовано влияние концентрации травильного раствора, скорости перемещения лазерного пучка, энергии лазерных импульсов на скорость травления, селективность и шероховатость полых каналов в кварцевом стекле. Использование раствора 1M NaOH позволяет повысить скорость травления полых каналов до 300 мкм/ч при сохранении высочайшей селективности до 680.
Татьяна Олеговна Липатьева – канд. хим. наук, ассистент кафедры химической технологии стекла и ситаллов Российского химико-технологического университета им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Cемен Иванович Стопкин – студент 4 курса бакалавриата кафедры химической технологии стекла и ситаллов Российского химико-технологического университета им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Алексей Сергеевич Липатьев – канд. хим. наук, ассистент кафедры химической технологии стекла и ситаллов Российского химико-технологического университета им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Сергей Викторович Лотарев – канд. хим. наук, доцент кафедры химической технологии стекла и ситаллов Российского химико-технологического университета им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Сергей Сергеевич Федотов – канд. хим. наук, ассистент кафедры химической технологии стекла и ситаллов Российского химико-технологического университета им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
Владимир Николаевич Сигаев – д-р хим. наук, профессор, руководитель Международного центра лазерных технологий, руководитель Международной лаборатории функциональных материалов на основе стекла им. П. Д. Саркисова, заведующий кафедрой химической технологии стекла и ситаллов РХТУ им. Д. И. Менделеева, Москва, Россия. E-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript..
1. Funano S. I., Ota N., Tanaka Y. A simple and reversible glass–glass bonding method to construct a micro-fluidic device and its application for cell recovery // Lab. on a Chip. 2021. V. 21, No. 11. P. 2244 – 2254.
2. Allenet T., Geoffray F., Bucci D., et al. Microsensing of plutonium with a glass optofluidic device // Optical Engineering. 2019. V. 58, No. 6. P. 060502.
3. Petrucci G., Caputo D., Lovecchio N., et al. Multi-functional system-on-glass for lab-on-chip applications // Biosensors and Bioelectronics. 2017. V. 93. P. 315 – 321.
4. Wlodarczyk K. L., Hand D. P., Maroto-Valer M. M. Maskless, rapid manufacturing of glass microfluidic devices using a picosecond pulsed laser // Scientific Reports. 2019. V. 9, No. 1. P. 1 – 13.
5. Daridon A., Fascio V., Lichtenberg J., et al. Multi-layer microfluidic glass chips for microanalytical applications // Fresenius' Journal of Analytical Chemistry. 2001. V. 371, No. 2. P. 261 – 269.
6. Kotz F., Quick A. S., Risch P., et al. Two-Photon Polymerization of Nanocomposites for the Fabrication of Transparent Fused Silica Glass Microstructures // Advanced Materials. 2021. V. 33, No. 9. P. 2006341.
7. Липатьева Т. О., Липатьев А. С., Кулакова Я. В. и др. Управление процессом жидкостного лазерно-индуцированного травления кварцевого стекла // Стекло и керамика. 2021. № 9. С. 3 – 8. [Lipatieva T. O., Lipatiev A. S., Kulakova Y. V., et al. Control of Liquid Laser-Induced Etching of Quartz Glass // Glass Ceram. 2022. V. 78, No. 9-10. P. 345 – 349.]
8. Butkut? A., Baravykas T., Stan?ikas J., et al. Optimization of selective laser etching (SLE) for glass micromechanical structure fabrication // Optics Express. 2021. V. 29, No. 15. P. 23487 – 23499.
9. R?denas A., Gu M., Corrielli G., et al. Three-dimensional femtosecond laser nanolithography of crystals // Nature Photonics. 2019. V. 13, No. 2. P. 105 – 109.
10. Qi J., Wang Z., Xu J., et al. Femtosecond laser induced selective etching in fused silica: optimization of the inscription conditions with a high-repetition-rate laser source // Optics Express. 2018. V. 26, No. 23. P. 29669 – 29678.
11. Ross C. A., MacLachlan D. G., Choudhury D., Thomson R. R. Optimisation of ultrafast laser assisted etching in fused silica // Optics express. 2018. V. 26, No. 19. P. 24343 – 24356.
12. Casamenti E., Pollonghini S., Bellouard Y. Few pulses femtosecond laser exposure for high efficiency 3D glass micromachining // Optics Expres. 2021. V. 29, No. 22. P. 35054 – 35066.
13. Hasse K., Huber G., Kr?nkel C. Selective etching of fs-laser inscribed high aspect ratio microstructures in YAG // Optical Materials Express. 2019. V. 9, No. 9. P. 3627 – 3637.
14. Yu X., Liao Y., He F., et al. Tuning etch selectivity of fused silica irradiated by femtosecond laser pulses by controlling polarization of the writing pulses // Journal of Applied Physics. 2011. V. 109, No. 5. P. 053114.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
500 руб
DOI: 10.14489/glc.2022.07.pp.003-008
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
