Рассмотрены подходы к лазерной обработке ультратонкого стекла марки К-208, перспективного для создания стеклянных интерпозеров в 2.5D/3D-микроэлектронике. Обсуждены требования к сквозным отверстиям (TGV) и качеству резки, включая геометрию, аспектное отношение и однородность металлизации. Исследованы возможности двух лазерных методов: сверления с использованием субнаносекундных гребенок фемтосекундных импульсов и резки методом управляемого термораскалывания с помощью CO2-лазера. В экспериментах варьировали энергию и число гребенок импульсов, положение перетяжки пучка, а также параметры CO2-лазера и число проходов. Методом оптической микроскопии проанализирована морфология отверстий и реза. Проведено исследование напряженных областей и прочности образцов на изгиб. Показана принципиальная возможность формирования сквозных отверстий в ультратонкой стеклянной ленте и получения бездефектного лазерного реза. Отмечены факторы, ограничивающие воспроизводимость и прочность, и оценена роль последующей термообработки. Полученные данные могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления стеклянных интерпозеров.
Сергей Сергеевич Федотов – кандидат химических наук, доцент, кафедра химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Филарет Сергеевич Балахонов – студент кафедры химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Юлиана Витальевна Спицына – аспирант кафедры химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Татьяна Олеговна Липатьева – кандидат химических наук, доцент, кафедра химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Алексей Сергеевич Липатьев – кандидат химических наук, доцент, кафедра химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
Владимир Николаевич Сигаев – доктор химических наук, профессор, руководитель Международного центра лазерных технологий, руководитель Международной лаборатории функциональных материалов на основе стекла им. П. Д. Саркисова, заведующий кафедрой химической технологии стекла и ситаллов, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева (РХТУ им. Д. И. Менделеева), Москва, Россия
1. Yu C., Wu S., Zhonget Y., et al. Application of through glass via (TGV) technology for sensors manufacturing and packaging // Sensors. 2024. V. 24, No. 1. P. 171.
2. Chaloun T., Brandl S., Ambrosius N., et al. RF glass technology is going mainstream: review and future applications // IEEE Journal of Microwaves. 2003. V. 3, No. 2. P. 783 – 799.
3. Jiang L., Fang J., Cao Q., et al. Femtosecond laser high-efficiency drilling of high-aspect-ratio microholes based on free-electron-density adjustments // Applied optics. 2014. V. 53, No. 31. P. 7290 – 7295.
4. Balage P., Bonamis G., Lafargue M., et al. Advances in femtoosecond laser GHz-burst drilling of glasses: Influence of burst shape and duration // Micromachines. 2023. V. 14, No. 6. P. 1158.
5. Mishchik K., Beuton R., Dematteo Caulier O., et al. Improved laser glass cutting by spatio-temporal control of energy deposition using bursts of femtosecond pulses // Optics Express. 2017. V. 25, No. 26. P. 33271 – 33282.
6. Rezaei S., Li J., Herman P. R., et al. Burst train generator of high energy femtosecond laser pulses for driving heat accumulation effect during micromachining // Optics Letters. 2015. V. 40, No. 9. P. 2064 – 2067.
7. Okhrimchuk A., Fedotov S., Glebov I., et al. Single shot laser writing with sub-nanosecond and nanosecond bursts of femtosecond pulses // Scientific Reports. 2017. V. 7. P. 16563.
Статью можно приобрести
в электронном виде!
PDF формат
700 руб
DOI: 10.14489/glc.2026.11.pp.009-013
Тип статьи:
Научная статья
Оформить заявку
