Исследованы дефекты невытравленных заготовок микроканальных пластин после их механической обработки. Установлено, что при операциях резки и шлифовки появляются дефекты, приводящие к образованию сквозных ...
Разработан способ одностороннего растравливания входных отверстий каналов невытравленных заготовок микроканальных пластин в разбавленной плавиковой кислоте. В работе использовали заготовки микроканальных ...
Разработана методика измерения резистивных характеристик каналов в заготовках микроканальных пластин.
При измерениях использовали два зонда, что позволило минимизировать токи утечки по соседним каналам. ...
